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        派克接頭:內(nèi)置金屬墊片的派克超純凈面密封接頭(尺寸最大為1英寸)–VacuSeal?

        VacuSeal?是內(nèi)置金屬墊圈的端面密封接頭,提供優(yōu)異的完整性,有效減少泄漏.其適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用場合,如半導(dǎo)體行業(yè)的管路配置、閥門閥組集成柜(VMBS)和氣體氣路分配系統(tǒng).

        派克接頭:內(nèi)置金屬墊片的派克超純凈面密封接頭(尺寸最大為1英寸)–VacuSeal?

        VacuSeal?是一種內(nèi)置金屬墊圈的端面密封接頭,該接頭可以提供極高的完整性,防止泄漏的有效性能,使得它們適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用場合,例如半導(dǎo)體行業(yè)的管路配置、閥門閥組集成柜(VMBS)和氣體氣路分配系統(tǒng)。VacuSeal?接頭的特點(diǎn)是需要配合配套的金屬密封圈和高光潔度的環(huán)面設(shè)計,創(chuàng)造了金屬對金屬的密封形式,提供無泄漏服務(wù),從真空到9000psi壓力范圍可用。


        VacuSeal?接頭的尺寸范圍從1/8英寸到1英寸可選,并可選擇各種接頭本體和接頭壓蓋配置。它們是由Veriflo工廠生產(chǎn)的低硫含量的Vericlean?材料加工而成,Vericlean?是Veriflo工廠注冊的專利商標(biāo),它是316L不銹鋼在100級潔凈室中制造而得的特殊材料。標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)光潔度是5 RA,其通過材料表面濕法電拋光減少表面顆粒度的同時提供優(yōu)異的耐腐蝕性能。接頭壓蓋可選用高純度鎳材質(zhì)和Hastelloy C-22®哈氏合金材質(zhì),以確保在極其
        腐蝕性應(yīng)用中的性能和可靠性。

        VacuSeal?接頭設(shè)計了安裝面為平面,接頭壓蓋與 Verfilo的TorqTite?自動調(diào)心面密封墊圈平面安裝密封,該連接方式不需要安裝工具,并消除了由于熱循環(huán)和振動造成的部件松動。TorqTite?也保證了密封性能,甚至在損壞的安裝環(huán)面上也能有效密封。并且在應(yīng)用中使用允許最高扭矩,而不會損壞密封表面。這是VacuSeal?接頭螺母,是用超高純度制造材料制造而成,與接頭壓蓋配合連接,最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生,并確保了在清潔生產(chǎn)至關(guān)重要的晶圓制造操作中的防止泄漏完整性。

        所有的真空管接件都是要求通過氦氣泄漏測試,以確保在要求的超潔凈應(yīng)用時的性能和可靠性。

        市場:
        ? 半導(dǎo)體生產(chǎn)線
        ? 設(shè)備實驗室
        ? 分析實驗室
        ? 藥物試驗室
        ? 生物危害試驗
        ? 航空航天應(yīng)用
        ? 工業(yè)生產(chǎn)

        應(yīng)用:
        ? 腐蝕性和特殊性氣體
        ? 半導(dǎo)體實驗室氣體分配系統(tǒng)
        ? 半導(dǎo)體設(shè)備
        ? 半導(dǎo)體設(shè)備二次配管
        ? 集成氣柜
        ? 閥門閥組集成柜(VMB)

        特點(diǎn)/優(yōu)勢:
        ? 接頭上帶有兩個泄漏測試口便于泄漏測試
        ? 泄漏率:小于1×10-9 STD SCC/SEC He
        ? 5 Ra內(nèi)部電拋光表面光潔度
        ? 內(nèi)螺紋帶有鍍銀工藝,具有增強(qiáng)的電鍍工藝,用于清潔、電解拋光和鈍化的侵蝕性化學(xué)工藝。
        ? 不旋轉(zhuǎn)的螺母安裝防止了在安裝過程中扭矩的傳遞,從而最小化了部件的扭轉(zhuǎn)而引起的應(yīng)力集中。
        ? 防螺紋咬死的螺母工藝,確保無電鍍或潤滑工藝的連接低扭矩,順暢一致。
        ? 專利的TorqTite?墊圈最初接觸內(nèi)錐度,徑向迫使任何夾雜污染物排出連接件。
        ? 接頭壓蓋上的熱追蹤代碼提供原材料的可追溯性
        ? 安裝無軸向間隙,而導(dǎo)致接頭連接系統(tǒng)側(cè)向移除部件
        ? 平滑過渡到內(nèi)徑,最小化內(nèi)陷區(qū)域

        Hastelloy C-22是 Haynes國際公司的注冊商標(biāo)。

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